发明名称 MICROWAVE PLASMA FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03150840(A) 申请公布日期 1991.06.27
申请号 JP19890288853 申请日期 1989.11.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 AZUMA KAZUFUMI;WATANABE TAKESHI
分类号 H01L21/205;H01L31/04 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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