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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03149813(A) 申请公布日期 1991.06.26
申请号 JP19890287959 申请日期 1989.11.07
申请人 ROHM CO LTD 发明人 MITSUMOTO KAZUFUMI
分类号 H01L21/22;H01L21/265 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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