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经营范围
发明名称
VAPOR DEPOSITION METHOD BY SPUTTERING
摘要
申请公布号
JPH03150359(A)
申请公布日期
1991.06.26
申请号
JP19890288737
申请日期
1989.11.08
申请人
SUMITOMO BAKELITE CO LTD
发明人
NAKAMURA KENJI
分类号
C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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