发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING LAMINATED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03149836(A) 申请公布日期 1991.06.26
申请号 JP19890289404 申请日期 1989.11.07
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 MEGURO KEN
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732;H01L29/78 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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