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发明名称 HEAT TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03150365(A) 申请公布日期 1991.06.26
申请号 JP19900181337 申请日期 1990.07.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TERU BARIAN KK 发明人 MURAKAMI MASASHI;IWASHITA MITSUAKI;KAI KOUZOU;KATO SUSUMU
分类号 C23C14/48;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/48;C23F4/00;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/324 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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