发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03148874(A) 申请公布日期 1991.06.25
申请号 JP19890287558 申请日期 1989.11.06
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAYASHIKI TETSUYA
分类号 H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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