发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03148854(A) 申请公布日期 1991.06.25
申请号 JP19890288348 申请日期 1989.11.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHIMURA HIROSHI
分类号 H01L21/768;H01L21/28 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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