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发明名称 JET SCRUBBER
摘要
申请公布号 JPH03148825(A) 申请公布日期 1991.06.25
申请号 JP19890287450 申请日期 1989.11.06
申请人 EBARA CORP 发明人 TAKAO SHOSUKE;YOKOI KEIJI;MINAMI YOSHIO
分类号 B08B3/02;B03B5/68;B08B1/00;B08B3/12;C30B33/00;H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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