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发明名称 Apparatus and method for producing semiconductor device
摘要
申请公布号 US5026668(A) 申请公布日期 1991.06.25
申请号 US19890436747 申请日期 1989.11.15
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 YAMAUCHI, SHUNJI;TANAKA, MINORU;SAKAMOTO, KENITIRO;MORITA, YUTAKA;KIDERA, TORU;MIEDA, HIROKI
分类号 B29C43/56;B29C45/17;B30B15/00 主分类号 B29C43/56
代理机构 代理人
主权项
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