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发明名称
Elliptical ion beam distribution method and apparatus
摘要
申请公布号
US5026997(A)
申请公布日期
1991.06.25
申请号
US19890436296
申请日期
1989.11.13
申请人
EATON CORPORATION
发明人
BENVENISTE, VICTOR M.
分类号
H01J27/08;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J27/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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