发明名称 |
MANUFACTURE OF IC AND IC STRUCTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03148862(A) |
申请公布日期 |
1991.06.25 |
申请号 |
JP19900190932 |
申请日期 |
1990.07.20 |
申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
SUKOTSUTO ETSUCHI PURENGURU;ROBAATO ETSUCHI EKURUNDO |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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