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发明名称 Method of making integrated circuits having a planarized dielectric
摘要
申请公布号 US5026666(A) 申请公布日期 1991.06.25
申请号 US19890458114 申请日期 1989.12.28
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 HILLS, GRAHAM W.;HUTTEMANN, ROBERT D.;OLASUPO, KOLAWOLE R.
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/336;H01L21/768 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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