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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03147360(A) 申请公布日期 1991.06.24
申请号 JP19890286123 申请日期 1989.11.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOSHINAGA MAKI;KACHI TADAO
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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