| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER LA REALIZZAZIONE DI STRUTTURE DI CALIBRAZIONE PARTICOLARMENTE PER LA TARATURA DI MACCHINE DI MISURA DEL DISALLINEAMENTO IN CIRCUITI INTEGRATI IN GENERE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITMI911727(D0) |
申请公布日期 |
1991.06.24 |
| 申请号 |
IT1991MI01727 |
申请日期 |
1991.06.24 |
| 申请人 |
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS SRL |
发明人 |
CROTTI PIER LUIGI |
| 分类号 |
H01L21/66;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L25/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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