发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03148166(A) 申请公布日期 1991.06.24
申请号 JP19890286288 申请日期 1989.11.02
申请人 NEC ENG LTD 发明人 KAWADA KAZUHIRO
分类号 H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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