| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03147335(A) |
申请公布日期 |
1991.06.24 |
| 申请号 |
JP19890282955 |
申请日期 |
1989.11.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OYU SHIZUNORI;KASHU NOBUYOSHI;ITOGA TOSHIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
