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发明名称 METHOD FOR MEASURING INTERFERENCE PATTERN CONTRACT
摘要
申请公布号 SU1658041(A1) 申请公布日期 1991.06.23
申请号 SU19894712922 申请日期 1989.07.03
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE 发明人 KOMISSAROVA IRINA I,SU;OSTROVSKAYA GALYA V,SU;OSTROVSKIJ YURIJ I,SU;FILIPPOV VALERIJ N,SU;SHEDOVA ELENA N,SU
分类号 G01N21/45;G01J9/02;G03H1/00 主分类号 G01N21/45
代理机构 代理人
主权项
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