发明名称 |
FORMATION OF TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM BY USING ACTIVATED PARTICLE AND DEVICE FOR FORMING TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03146657(A) |
申请公布日期 |
1991.06.21 |
申请号 |
JP19890279800 |
申请日期 |
1989.10.30 |
申请人 |
STANLEY ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
YOSHIDA MAKOTO;MIYAMOTO KAZUHIRO |
分类号 |
C23C14/06;C23C14/08;C23C14/24;C23C14/48;C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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