| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING OXIDE HIGHTEMPERATURE SUPERCONDUCTING FILM BY PLASMA-EXCITATION VAPORIZATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03146418(A) |
申请公布日期 |
1991.06.21 |
| 申请号 |
JP19890284611 |
申请日期 |
1989.10.31 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
YASUDA YUKIO;ZAIMA SHIZUAKI;KOIDE YASUO |
| 分类号 |
C01G3/00;C01G1/00;C01G29/00;C23C14/08;C30B29/22;H01B12/06;H01L39/24 |
主分类号 |
C01G3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
