发明名称 SILICA GLASS CRUCIBLE FOR PULLING SILICON SINGLE CRYSTAL AND METHOD FOR INSPECTING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH03146496(A) 申请公布日期 1991.06.21
申请号 JP19890283926 申请日期 1989.10.31
申请人 SHINETSU SEKIEI KK 发明人 INAGI KYOICHI;IWATANI FUJIO
分类号 G01N21/64;C01B33/113;C03B20/00;C30B15/10;C30B29/06 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
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