发明名称 |
SILICA GLASS CRUCIBLE FOR PULLING SILICON SINGLE CRYSTAL AND METHOD FOR INSPECTING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03146496(A) |
申请公布日期 |
1991.06.21 |
申请号 |
JP19890283926 |
申请日期 |
1989.10.31 |
申请人 |
SHINETSU SEKIEI KK |
发明人 |
INAGI KYOICHI;IWATANI FUJIO |
分类号 |
G01N21/64;C01B33/113;C03B20/00;C30B15/10;C30B29/06 |
主分类号 |
G01N21/64 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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