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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH03145717(A) 申请公布日期 1991.06.20
申请号 JP19890284133 申请日期 1989.10.31
申请人 KYOCERA CORP 发明人 TANAKA KIYONARI;NITTA YOSHITERU;YAMAGUCHI NORITOSHI;TOMITA MASATOKI
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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