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发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03145151(A) 申请公布日期 1991.06.20
申请号 JP19890283734 申请日期 1989.10.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OIWA NORIHISA;HORIOKA KEIJI;OKANO HARUO
分类号 H01L21/683;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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