| 发明名称 |
HIGH FREQUENCY INDUCTIVE COUPLING PLASMA MASS ANALYZING METER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03145052(A) |
申请公布日期 |
1991.06.20 |
| 申请号 |
JP19890280794 |
申请日期 |
1989.10.27 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
UCHIYAMA TADASHI;SAKATA KENICHI |
| 分类号 |
G01N27/62;H01J49/12;H01J49/26 |
主分类号 |
G01N27/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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