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发明名称 ION PLACING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03145047(A) 申请公布日期 1991.06.20
申请号 JP19890283360 申请日期 1989.10.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MUTO HIROTAKA;FUJII HARUHISA;NAKANISHI KOICHIRO
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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