发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH03145767(A) 申请公布日期 1991.06.20
申请号 JP19890285673 申请日期 1989.10.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SOEDA SHINICHI;WATABE JUNICHI;NASU YASUHIRO;MISHIMA YASUYOSHI
分类号 H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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