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发明名称 (C2) ;Verfahren und Anordnung zur Steuerung der Bedampfungsstromdichte und/oder deren Verteilung
摘要
申请公布号 DE4028842(C1) 申请公布日期 1991.06.20
申请号 DE19904028842 申请日期 1990.09.11
申请人 BALZERS AG, BALZERS, LI 发明人 WEGMANN, URS, OBERSCHAN, CH;KOLLER, ALBERT, AZMOOS, CH;VOGT, JOSEF, BALZERS, LI
分类号 H01J37/30;C23C14/30;H05B7/00 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
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