发明名称 PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 JPH03145117(A) 申请公布日期 1991.06.20
申请号 JP19890281892 申请日期 1989.10.31
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KIMURA YASUKI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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