VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES DUENNSCHICHTFILMS.,申请号DE19863679299-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES DUENNSCHICHTFILMS.
摘要
申请公布号	DE3679299(D1)	申请公布日期	1991.06.20
申请号	DE19863679299	申请日期	1986.06.27
申请人	SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., ATSUGI, KANAGAWA, JP	发明人	YAMAZAKI, SHUNPEI, SETAGAYA-KU TOKYO 157, JP;URATA, KAZUO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN 243, JP;TASHIRO, MAMORU, SETAGAYA-KU TOKYO 157, JP;TANAMURA, YUJI, MACHIDA-SHI TOKYO 194, JP;IMATO, SHINJI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN 243, JP
分类号	G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/314;H01L21/31;H01L21/318	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
地址