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发明名称 WAESSRIGE ENTWICKLERLOESUNG UND VERFAHREN ZUM ENTWICKELN VON PHOTORESISTEN
摘要
申请公布号 DE3941394(A1) 申请公布日期 1991.06.20
申请号 DE19893941394 申请日期 1989.12.15
申请人 BASF AG, 6700 LUDWIGSHAFEN, DE 发明人 BINDER, HORST, 6840 LAMPERTHEIM, DE;SCHWALM, REINHOLD, DR., 6706 WACHENHEIM, DE
分类号 G03F7/32 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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