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经营范围
发明名称
JET SCRUBBER
摘要
申请公布号
JPH03143558(A)
申请公布日期
1991.06.19
申请号
JP19890279891
申请日期
1989.10.30
申请人
EBARA CORP
发明人
TAKAO SHOSUKE;YOKOI KEIJI;MINAMI YOSHIO
分类号
B03B5/68;B08B3/12;H01L21/304
主分类号
B03B5/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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