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发明名称 IMPROVEMENTS IN AND RELATING TO CHARGED PARTICLE BEAM SCANNING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2195860(B) 申请公布日期 1991.06.19
申请号 GB19870021738 申请日期 1987.09.16
申请人 * TRIALSITE LIMITED;* BERNARD CYRIL BRETON;* JOHN THIAM LEONG THONG;* WILLIAM CHARLES NIXON 发明人 BERNARD CYRIL * BRETON;JOHN THIAM LEONG * THONG;WILLIAM CHARLES * NIXON
分类号 H01J37/22;H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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