Process for the production of hard carbon layers and apparatus for carrying out the process.

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung insbesondere auch von Diamantschichten unter Einsatz eines Kohlenstoff enthaltenden Mittels mittels eines unter Vakuum zwischen zwei Elektroden gezündeten Gleichstrom-Lichtbogens, dem Wasserstoff zugeführt wird. Zur Verbesserung der Wirtschaftlichkeit eines derartigen Verfahrens bzw. einer derartigen Vorrichtung wird der Vorschlag unterbreitet, den Wasserstoff durch zumindest eine der beiden Elektroden (7 bzw. 8) unmittelbar einzuleiten und den Lichtbogen bei nachregelbarem Elektrodenabstand von der als Kohlenstoffquelle wirksamen Anode (7) speisen zu lassen. <IMAGE>