发明名称 Copper sulfate absorption mass to remove AsH3, PH3, B2H6, GeH4 and SiH4
摘要 An absorption mass consists of an oxidic porous carrier substance saturated with CuSO4. The CuSO4 is in the form of a monohydrate or with CuSO4 free from water of crystallization.
申请公布号 US5024823(A) 申请公布日期 1991.06.18
申请号 US19880279851 申请日期 1988.12.05
申请人 MESSER GRIESHEIM GMBH 发明人 GOEKCEK, CETIN
分类号 B01D53/46;B01J20/02;B01J20/32 主分类号 B01D53/46
代理机构 代理人
主权项
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