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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03142866(A)
申请公布日期
1991.06.18
申请号
JP19890281061
申请日期
1989.10.27
申请人
NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD
发明人
TAKASUKA YUKISUKE
分类号
H01L21/822;H01L27/00;H01L27/04
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
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