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发明名称
CONTRACTED PROJECTION MECHANISM
摘要
申请公布号
JPH03142914(A)
申请公布日期
1991.06.18
申请号
JP19890279828
申请日期
1989.10.30
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
KINOSHITA HIROO;MIZOTA TSUTOMU;TAKEUCHI NOBUYUKI;KURIHARA KENJI;TORII YASUHIRO
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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