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发明名称 MANUFACTURE OF WAFER SCALE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03142852(A) 申请公布日期 1991.06.18
申请号 JP19890281319 申请日期 1989.10.27
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 KOMAKI MASAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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