| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03141641(A) |
申请公布日期 |
1991.06.17 |
| 申请号 |
JP19890279052 |
申请日期 |
1989.10.26 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
TATSUMI TETSUYA;KADOMURA SHINGO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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