| 发明名称 |
PRODUCTION OF BUILT-UP FILM OF OXIDE FINE PARTICLE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03140472(A) |
申请公布日期 |
1991.06.14 |
| 申请号 |
JP19890281090 |
申请日期 |
1989.10.27 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
TANNO MASANOBU;TAKAGI HIROYOSHI |
| 分类号 |
C23C18/02;C01G1/00;C01G3/00;C01G29/00;C22C28/00 |
主分类号 |
C23C18/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
