发明名称 FORMATION OF POLYMER FILM CONTAINING DISPERSED HYPERFINE POWDER OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03140335(A) 申请公布日期 1991.06.14
申请号 JP19890277188 申请日期 1989.10.26
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 TAKAHASHI YOSHIKAZU;IIJIMA MASAYUKI;ARAI TOSHIHIRO;ANZAKI TOSHIAKI
分类号 C08J5/18;C23C14/12;C23C14/24 主分类号 C08J5/18
代理机构 代理人
主权项
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