发明名称 |
FORMATION OF POLYMER FILM CONTAINING DISPERSED HYPERFINE POWDER OF SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03140335(A) |
申请公布日期 |
1991.06.14 |
申请号 |
JP19890277188 |
申请日期 |
1989.10.26 |
申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
TAKAHASHI YOSHIKAZU;IIJIMA MASAYUKI;ARAI TOSHIHIRO;ANZAKI TOSHIAKI |
分类号 |
C08J5/18;C23C14/12;C23C14/24 |
主分类号 |
C08J5/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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