| 发明名称 |
DISPOSITIF DE MESURE DE POSITION PAR MESURE D'ASTIGMATISME A L'AIDE D'UNE DETECTION OPTIQUE DIFFERENTIELLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2604515(B1) |
申请公布日期 |
1991.06.14 |
| 申请号 |
FR19860013655 |
申请日期 |
1986.09.29 |
| 申请人 |
SPECTEC SA;OSTROWSKY DANIEL |
发明人 |
DANIEL OSTROWSKI;PASCAL SCHWEIZER |
| 分类号 |
G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/30;G01B11/28;G02B27/18 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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