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发明名称 KORONAENTLADUNGS-LICHTQUELLENZELLE
摘要
申请公布号 DE4036122(A1) 申请公布日期 1991.06.13
申请号 DE19904036122 申请日期 1990.11.13
申请人 FUSION SYSTEMS CORP., ROCKVILLE, MD., US 发明人 EGERMEIER, JOHN C., AUSTIN, TEX., US;URY, MICHAEL G., BETHESDA, MD., US
分类号 H01J61/073;H01J61/00;H01J61/30;H01J61/52;H01J61/88;H01J65/00;H01S3/038 主分类号 H01J61/073
代理机构 代理人
主权项
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