| 发明名称 |
ELECTRIFICATION DISSOLVING METHOD FOR ION IMPLANTER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03138845(A) |
申请公布日期 |
1991.06.13 |
| 申请号 |
JP19890276012 |
申请日期 |
1989.10.25 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YOSHIDA YUKIMASA;OKUMURA KATSUYA |
| 分类号 |
H01J37/02;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
