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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES NADELTRAEGERS ZUM TESTEN VON HALBLEITERSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 DD290961(A5) 申请公布日期 1991.06.13
申请号 DD19890336343 申请日期 1989.12.27
申请人 VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN,DE 发明人 BAGE,FRANK,DE;SCHOENE,FALK,DE;THIERSCHMANN,AXEL,DE
分类号 G01R33/58;(IPC1-7):G01R33/58 主分类号 G01R33/58
代理机构 代理人
主权项
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