发明名称 WASHING SYSTEM
摘要 <p>Système de lavage utilisant un mélange de différents produits chimiques liquides, comprenant un organe de pompage d'un milieu porteur de liquide, au moins une conduite de jet dont une extrémité est reliée à l'organe de pompage et dont l'autre extrémité est ouverte, un ensemble de conduites d'aspiration reliées à la conduite de jet à des intervalles donné, chacune en communication avec la conduite de jet, et un ensemble de réservoirs de produits chimiques liquides dans lesquels les ouvertures aux extrémités des conduites d'aspiration sont introduites respectivement. Grâce à cet agencement, on peut laver successivement une grande partie d'un objet selon le principe d'un aspirateur à l'aide du mélange de produits chimiques liquides sans produire de contamination. Etant donné que l'organe de pompage ne peut être traversé que par le milieu porteur de liquide, on évite toute corrosion de l'intérieur de l'organe de pompage (pompe) par le mélange de produits chimiques liquides.</p>
申请公布号 WO9108583(A1) 申请公布日期 1991.06.13
申请号 WO1990JP01529 申请日期 1990.11.22
申请人 OHMI, TADAHIRO 发明人 OHMI, TADAHIRO;SHIBATA, TADASHI
分类号 H01L21/304;B05B7/28;B05B7/30;B05B7/32;H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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