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发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH03138848(A) 申请公布日期 1991.06.13
申请号 JP19890276764 申请日期 1989.10.23
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAITO KATSUO
分类号 H01J49/06;H01J49/10 主分类号 H01J49/06
代理机构 代理人
主权项
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