发明名称 HOLOGRAPHIC EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03138604(A) 申请公布日期 1991.06.13
申请号 JP19890278094 申请日期 1989.10.24
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 WATANABE MASAYUKI
分类号 G02B5/32;G02B5/18;G03H1/04 主分类号 G02B5/32
代理机构 代理人
主权项
地址