发明名称 PROCESS FOR SPUTTERING MULTILAYERS FOR MAGNETO-OPTICAL RECORDING
摘要 <p>A sputtering process for making a platinum/cobalt (Pt/Co) multilayer film comprised of alternating layers of platinum and cobalt, using as the sputter gas krypton, xenon or a mixture thereof.</p>
申请公布号 WO9108578(A1) 申请公布日期 1991.06.13
申请号 WO1990US06767 申请日期 1990.11.27
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 CARCIA, PETER, FRANCIS
分类号 C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;G11B5/85;G11B5/851;G11B11/10;G11B11/105;H01F10/08;H01F10/32;H01F41/18 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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