发明名称 |
PROCESS FOR SPUTTERING MULTILAYERS FOR MAGNETO-OPTICAL RECORDING |
摘要 |
<p>A sputtering process for making a platinum/cobalt (Pt/Co) multilayer film comprised of alternating layers of platinum and cobalt, using as the sputter gas krypton, xenon or a mixture thereof.</p> |
申请公布号 |
WO9108578(A1) |
申请公布日期 |
1991.06.13 |
申请号 |
WO1990US06767 |
申请日期 |
1990.11.27 |
申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
CARCIA, PETER, FRANCIS |
分类号 |
C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;G11B5/85;G11B5/851;G11B11/10;G11B11/105;H01F10/08;H01F10/32;H01F41/18 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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