发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 DE3679087(D1) 申请公布日期 1991.06.13
申请号 DE19863679087 申请日期 1986.02.25
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MIZUTANI, YOSHIHISA C/O PATENT DIVISION;KOHYAMA, SUSUMU C/O PATENT DIVISION;MAKITA, KOJI C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/28;H01L21/8247;H01L29/788;(IPC1-7):H01L29/60;H01L21/82 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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