| 发明名称 |
THIN FILM OF MULTI COMPONENT OXIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03138393(A) |
申请公布日期 |
1991.06.12 |
| 申请号 |
JP19900182338 |
申请日期 |
1990.07.09 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
YOSHIMURA MASAHIRO;YANAGI TSUGUOTSU;ISHIZAWA NOBUO |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G23/00;C25D9/04;C25D9/06;C25D11/02 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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