发明名称 OPTICAL APPARATUS FOR DETECTING DISPLACEMENT
摘要
申请公布号 JPH03137517(A) 申请公布日期 1991.06.12
申请号 JP19890275479 申请日期 1989.10.23
申请人 COPAL CO LTD 发明人 TAKAGI MASAAKI;NAKAMURA SHIGEKAZU;KOMURA ATSUSHI
分类号 G01D5/36;G01D5/38 主分类号 G01D5/36
代理机构 代理人
主权项
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